汉语术语研究源远流长。早在战国时期，《墨经》中就提出了朴素的原子概念，叫作“端”；提出了时间和空间的概念，分别叫作“宙”和“宇”。据考证，西周时期的《诗经》中，与化学知识有关的内容就有600多处，其中，青铜100处、酿酒100处、染色80处、玉石40处、皮革30处、香料10处、肥料5处、油漆和陶器10处、糖和油脂30处。这些内容涉及不少的科技术语。

战国末期思想家荀况的著作《荀子》一书的《正名》篇有关语言理论，其中许多论点都与术语问题有关。荀子提出“制名以指实”的命题，认为“名定而实辨”，“名闻而实喻”，肯定了“名”为“实”所规定，“实”异则“名”异，“实”同则“名”同；他认为“名”的作用是“别同异”，并说，“名无固宜”，“约定俗成谓之宜”。荀况认为定名要从事实出发，“同则同之，异则异之”，相同的事物要给予同样的名称，不同的事物要给予不同的名称。荀况还提出了“共名”和“别名”的概念，用来表明事物的属种关系。共名相当于上位概念，别名相当于下位概念。他认为事物的名并不限于共名和别名两个层次，可以沿着共名的方向推演，也可以沿着别名的方向推演，他说，“推而共之，共则有共，至于无共然后止”，“推而别之，别则有别，至于无别然后止”。所谓“推而共之”，就是概念的概括，所谓“推而别之”，就是概念的限制，从而提出了高于共名、外延最大的“大共名”的概念，以及低于别名、外延最小的“大别名”的概念，这样，就构成了一个多层次的概念体系，这可能是世界上最早提出的关于概念体系的观点。这些观点，与现代术语学关于概念体系和术语的系统性的观点是一脉相通的。在“名”的表达形式上，荀况还提出了“单名”和“兼名”的概念，他说，“单足以喻则单，单不足喻则兼”，“单名”是指用一个字表达的名，如“马”，兼名是指用两个字表达的名，如“白马”“黑马”。“喻”和“足”是荀况对名的表达形式要求的关键，“喻”就是明白，“足”就是充分，荀况主张定名要紧紧地抓住这两个关键，即要求术语的定名要有简明性，这与现代术语学的要求也是一致的。荀况是中国术语学理论研究的先驱，他的术语思想对于今天的术语学研究很有启发意义。

秦汉之际的《尔雅》一书中，收集了各科的术语，全书19篇，科学技术术语占了大半数。除前3篇《释诂》《释言》《释训》为解释一般词语之外，《释天》《释地》《释山》《释水》《释草》《释木》《释虫》《释鱼》《释鸟》《释兽》《释亲》《释器》等16篇均解释名物词，共1400多条，许多词条都下了定义，可以看成是一部古代术语词典。正如《经典释文》指出的那样：“《尔雅》者，所以训释五经，辨章同异，实九流之通路，百氏之指南，多识鸟兽草木之名，博览而不惑者也。”

在先秦、两汉时期，中国与印度和西域各国都有科技文化方面的交流，从这些国家的语言中借用了一些科技术语，并且把它们音译为汉语。例如，“琉璃”来自梵文的“veluriya”，由“veluriya”变为“luri”，再由“luri”变为“liuli”（琉璃）；“葡萄”这个术语，有的学者认为来自波斯语的“buduw”a，有的学者认为来自新波斯语的“buda”；“苜蓿”来自大宛语的“buxsuk”。它们是汉语中早期的外来科技术语。

魏、晋、南北朝时期，东晋葛洪的《抱朴子·仙药篇》、南北朝祖冲之的《缀术》、北魏郦道元的《水经注》等著作都创造了许多科学术语。

汉、唐时期的佛典翻译，吸收了很多梵文的佛教术语。玄奘为了解决音译与意译的问题，他提出了“五不翻”的原则：“秘密故”“含多义故”“无此故”“顺古故”“生善故”。梵文译为中文时大多数采用音译。在佛教术语中，有的音译词语后来逐渐转变成意译词语。例如，

梁启超指出，安公论译梵为秦，有“五失本三不易”。五失本者为句法倒装；好用文言；删去反复咏叹之语；去一段落中解释之语；删去后段覆牒前段之语。三不易者为既须求真，又须喻俗；佛智悬隔，契合实难；去古久远，无从询证。梁启超认为“译梵为秦”的佛经典籍翻译的“三不易”中最不容易的是“既须求真，又须喻俗”。“求真”就是要忠实于原文，“喻俗”就是要通俗易懂，从梵文翻译过来的佛教术语，既要“信”，又要“顺”，这是非常困难的工作，可见当时的佛经翻译已经达到了相当高的水平。

汉、唐时期，中国与外国的科技文化交流日趋频繁，从外语中音译了不少的科技术语，例如，“玻璃”译自梵文的“sphatika”，首先音译为“赛颇胝迦”（sphatika），再转变为“颇胝”（phati），进一步转变为“颇黎”（phali），最后就变成了“玻璃”（boli）；“茉莉”译自梵文的“mallika”或叙利亚语“molo”；“八哥”译自阿拉伯语的“babbagha”；“木乃伊”译自阿拉伯语的“mumiya”。“祖母绿”（一种矿物）译自阿拉伯语的“zumunrud”。这些科技术语是外来科技文化的使者，一直流传到现代。

北宋沈括的《梦溪笔谈》中创造了许多数学、物理学、地学术语。明代李时珍的《本草纲目》，使用了数百种植物和矿物岩石名称，仅矿物岩石就分为水部、土部、金部3大类，采用了物理性质与化学性质相结合的分类方法和命名方法；徐光启的《农政全书》创造了许多农业、土壤和水利工程方面的术语；宋应星的《天工开物》收集了大量的科技术语，被西方学者称为中国科学技术的百科全书，19世纪就被西方学者译成法文，此后又被译成英文、德文、意大利文、俄文。这些成果所反映的基本上是古代中国农业和手工业方面的发展水平。

明末清初起，科学技术翻译事业便开始兴盛起来，中外学者合力译撰了不少关于天文学、数学、物理学、采矿冶金、生理学、生物学、地图学、化学方面的著作，介绍西方的科学技术知识。例如，《西洋新法历书》《几何原本》（前六卷）、《测量全义》《三角算法》《比例对数表》《泰西水法》《奇器图说》《远镜说》《坤舆格致》《泰西人身说概》《人身图说》《坤舆万国全图》等。19世纪下半叶，以京师同文馆、江南制造总局为中心，译撰了大量的科学技术著作。例如，李善兰（1811～1882）等人合译撰的《化学阐原》《天学发轫》《算学课艺》《几何原本》（后九卷）、《代数学》《代微积拾级》《谈天》《重学》《植物》《奈端物理》等，徐寿（1818～1884）译述的《西艺知新》《化学鉴原》《化学考质》《化学求数》《汽机发轫》等，华蘅芳（1833～1902）与傅兰雅（John Fryer，英国，1839～1928）共译的《金石识别》《地学浅释》《海防新论》《代数术》《微积渊原》《三角数理》《合数术》等。丁韪良（William A.P.Martin, 美国，1827～1916）翻译的《格物入门》于1868年出版，成为清朝末年最早的官办新式学堂京师同文馆出版的第一本中文自然科学教科书。在这些译作中，都创造了许多新的术语。例如，在丁韪良翻译的《格物入门》中，使用以“气”为后缀的汉字来翻译某些气体的化学元素，有“养气（O）”“轻气（H）”“硝气（N）”“盐气（Cl）”等，使用以“精”为后缀的汉字来翻译某些固体的化学元素，有“炭精（C）”“石精（Ca）”“硼精（B）”“灰精（K）”等；又如，在徐寿译《化学鉴原》之前，中国只有一些最普通的表示金属名称的汉字，如“金（Au）”“银（Ag）”“铜（Cu）”“铁（Fe）”“锡（Sn）”等，《化学鉴原》一书中沿用了这些汉字并用它们来翻译有关的化学元素名称，对于中文里原来没有的化学元素术语，徐寿采用把西文化学元素名称的第一音节或者第二音节以一个汉字翻译出来的方法，创造了一些新的汉字来翻译这些术语，并且这成了中国化学命名的基本原则，当时徐寿新创造的化学元素术语有“钠（Na）““钾（K）““锌（Zn）““钙（Ca）““镁（Mg）”等，《化学鉴原》一共拟订了64种化学元素的名称。

19世纪末和20世纪初，严复在翻译西方新术语时，一方面选用意译词，另一方面又创造了不少音译词。他提出了“信、达、雅”三条翻译标准，对后世的翻译实践起了很大的指导作用。这个时期，胡以鲁在《论译名》一文中，虽然力主意译，但也提出了不妨音译的十类词。这些都表明，术语的制定与规范化一直是人们关心的问题。这个时期一部分的意译科技术语是通过日语的翻译而转借到汉语中来的，这些科技术语的汉字书写形式与日语相差不大，但是，发音却不相同。例如，“地质学”（geology），汉语读音是/dizhixue/，日语假名写作ちしつがく，读音是/chishitsugaku/；“工业”（industry），汉语读音是/gongye/，日语假名写作こうぎょう，读音是/koogyoo/；“汽船”（steamship），汉语读音是 /qichuan/，日语假名写作きせん，读音是/kisen/；“原子”（atom），汉语读音是/yuanzi/，日语假名写作げんし，读音是/genshi/。 

20世纪初年，要求统一译名的呼声越来越高。化学家杜亚泉（1873～1933）在他1906年出版的《化学新教科书》的“序言”中指出：“我国译化学书，已三四十年。然至今日，仍为世界之化学，而非我国之化学。举一名目，而不能适当其物之性质例类；述一理论，而无表白其细微之言词。……盖学问中之名词，析之不精，辨之不确，则窒碍于应用，阻遏其思想，甚至差毫厘而失千里者有之。”1909年，学部派严复编订各科中外名词对照表及各种词典，并成立了以严复为总纂的科学名词编定馆，这是中国第一个审定科学技术术语的统一机构。

辛亥革命胜利后，随着科学技术知识的进一步传播，术语的审定工作显得更加重要。江苏省教育会（今江苏省教育学会）的理化教授研究会首先审定了物理学和化学术语，中华医学会组织了医学名词审查会，1915年相继审定了化学、物理学、数学、动物学、植物学、医学的术语。1918年中国科学社起草了科学名词审定草案，1919年成立了科学名词审定委员会，1923年出版了《矿物岩石及地质名词辑要》，截至1931年共审定各学科术语草案14部。

1928年在大学院内成立了译名统一委员会，1932年成立了国立编译馆，专门负责管理全国科学技术术语审定工作。国立编译馆聘请审定委员多人，在当时的教育部的主持下，召开过天文学、物理学、数学的术语讨论会，1933年制定并出版了化学命名原则，1934年出版了物理学名词草案和天文学名词草案，1935年出版了数学名词，1936年审定了矿物学名词草案，1939年完成了气象学名词草案；在生物科学方面，1949年以前已经完成的名词草案有如下几个学科分支：比较解剖学、昆虫学、细胞学、组织学、普通动物分类学、脊髓动物分类学、植物病理学、植物生理学、植物学、植物生态学、普通园艺学、植物园艺学等。天文学名词从1934年出版后，于1937年进行了增订，1940年已增至7000条，又经1942年、1948年两次审定，为天文学术语的统一奠定了良好的基础。到1949年底，国立编译馆编成的名词术语草案还有岩石学、人文地理学、电机学、机械学等共50多种。

此外，中国在1908～1915年间，完成了《辞源》的编写工作，共4册；1936年还完成了以字代词的百科词汇《辞海》的编撰工作，共3卷。这两部大词典中收入并解释大量的科学技术术语。

中华人民共和国成立后，中国的术语工作在继续学习借鉴国外先进成果与经验的基础上走上了自主发展的阶段。此后，国家改革开放的大政方针以及国际术语标准化发展的新形势，有力地推动了全国术语标准化工作的建立和发展，从而使中国的科技术语工作沿着标准化、规范化、科学化、国际化以及信息化的方向蓬勃发展起来。