加工测量系统对正常被应用在具有原位测量功能的加工系统中。通过统一加工与测量系统，实现测量数据对加工误差的直接补偿。在加工系统与测量系统的坐标系统一情况下，将测量数据与目标曲面进行求差的结果即为最终的加工误差。

针对非对正的加工测量系统，其评价过程通常需要通过数据匹配来实现测量结果与目标曲面的对正。在此过程中，数据匹配所引入的误差将会被引入最终补偿过程中，不利于精确补偿。

加工与测量系统对正的方法可以通过超精密机床的高精度位移机构与测量反馈系统，实现对测量系统的精确调整，使得测量系统的坐标系与加工坐标系的统一。实现加工系统与测量系统的高精度对正，避免数据匹配造成的原理性误差，是提高自由曲面评价结果正确性的有效途径。