波长扫描测量过程主要有3步：①不接入待测器件，将扫描光源直接接到功率计上，设定扫描范围为待测器件标定的工作带宽，记录一组扫描光源不同波长的输出功率作为标定校准使用；②接入待测器件，让扫描光源再扫描一次，记录待测器件对不同波长响应后的功率；③如果功率单位是毫分贝，和的差为待测器件的光谱响应特性。在工作带宽内找到的最大值和最小值，两者的差即待测器件的波长相关损耗。

有一些波长可调谐光源内置自动功率控制功能，可通过负反馈在不同波长输出的功率始终恒定，如果使用这样的光源，第一步可以省略，而第三步可直接查找的最大值和最小值的差即可。

实验中要求波长可调谐光源的谱宽要窄，一般常用谱宽在0.1纳米左右的可调谐激光器。如果谱宽过窄，很容易由于各种反射、散射而引起干涉，造成测量不稳定；如果谱宽过宽，有会造成波长分辨率不高，待测器件的光谱响应特性可能会失真。