移动狭缝法是用狭缝代替了刀口，调节狭缝使得狭缝的中心线正好通过光斑中心，沿光束截面移动狭缝，探测器测得的激光透射功率是狭缝位置的函数，图像为正态分布。如探测器测得激光光束中心处功率，则探测器测得功率两处位置差即为激光束宽，根据定义可以得到光强二阶矩定义的束宽。移动狭缝法的狭缝宽度不能太宽，否则会影响到光束的分辨力；狭缝宽度也不能太窄，否则透过光强太弱。尤其测量较小光斑或较弱的光束时，要使用更窄的狭缝。

移动狭缝法简便，与针孔扫描法相比，不需要对中，精度也不低，还能提高信噪比。使用狭缝扫描法只能做一维扫描，不能得到光束具体某点的强度。