由于传统的远场太赫兹成像系统受衍射极限的限制，理论上分辨率仅能达到λ/2的尺度，其毫米量级的成像分辨率并不能满足实际需求。因此，为了打破衍射极限，提高空间分辨率，太赫兹近场成像引起了人们的广泛关注。1998年，研究者们提出了一种太赫兹近场成像系统，利用太赫兹逐点成像实现了亚波长量级的空间分辨率。20世纪90年代，随着太赫兹时域光谱技术以及微纳加工技术的迅猛发展，太赫兹近场成像技术也取得了突破性进展。21世纪初，太赫兹近场成像应用于可见光波段的近场成像方法，如共焦法、孔径法、散射法、直接探测法等，均在太赫兹波段得到借鉴与应用。光导探针扫描探测法将锐化的光导探针放置于样品表面，直接利用光导天线原理探测太赫兹近场信息，具有分辨率高、易调节、宽频探测等优点，同时具有远场测量和三维空间扫描能力。该系统在表面等离子体学、纳米光谱学及生物学等领域具有非常好的应用前景。