虽然相比于晶格原子电子的质量很小，但当电子束的能量超过500千电子伏时，将有较大的概率通过弹性碰撞过程造成晶格原子的离位。因此，在研究辐照造成的材料损伤机理问题时，也利用电子束来模拟反应堆中子的辐照损伤，特别是点缺陷的形成与演化行为。

电子束辐照有一些优势：①电子束辐照可以简单的利用高压透射电子显微镜实现，并且能够原位观察缺陷；②能够在短时间内积累大量缺陷，辐照时间短。电子束辐照也有一些劣势：①能量通常限制在1兆电子伏，此能量下只可以产生点缺陷，而不会产生离位级联；②电子束辐照要求密切监视并加以控制辐照温度，而这些对典型的样品台来说是比较困难的，高剂量率带来较大的温升，需要对普通的样品台有更精准的温度控制；③辐照的材料常常是百纳米的薄片，缺陷产生于靠近表面的地方，缺陷的行为受到表面效应的影响；④电子束的高斯分布会在辐照区域产生很高的损伤率梯度。

电子加速器也可以用来对块体材料进行电子束辐照，并且能够提供相对均匀的、散焦的束流，但损伤率不像其他加速器那么高。