有序合金或晶体在辐照过程中，有序相转变为无序相或者非晶相，称为辐照引起的非晶化。在元素和化合物半导体中也观察到辐照诱发非晶化态。辐照过程中有两种不同的途径产生非晶化：①快重离子辐照，沿着载能粒子的路径上形成一个高温区域，这时非晶化是由高温区域快速冷却的结果。由于冷却速率非常高，非晶化区被局部淬火，随着辐照剂量的增加，样品体积内逐渐被非晶化区所填充，直到整个样品成为非晶化态。②在低能重离子辐照过程中，通过离位级联（见级联碰撞）产生大量的点缺陷，特别是离位原子不断的积累，首先引起原子局域无序化，在达到一定程度后，离位级联区重叠，使无序化区域失稳，整个样品开始转变为非晶化态。