电子经汇集加速成束，具有高能量密度，照射在岩石表面，使岩石升温而破碎。在非接触式破岩方法中，聚焦电子束破岩最为成熟。电子束穿过岩石时，由于介质原子的电离和激发，将电子束能量（10～200千电子伏特）传输给岩石，其功率密度可达10⁶瓦/厘米²，故可放出大量的热量，使岩石升温或熔化（或汽化），热熔面将以3米/秒的速度向前传播。因电子束在固体或液体中的穿透深度相同，与物质的热传导性无关，所以传导中无热损失。聚焦电子束的优点是功率密度仅次于激光与等离子体，能量转换率高于激光和等离子体，可达75%，比功为200～3000焦/厘米²。