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多重漏极网格

/multiple drain mesh; MDmesh/
条目作者罗小蓉

罗小蓉

最后更新 2022-12-23
浏览 119
最后更新 2022-12-23
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一种量产化纵向超结金属-氧化物-半导体场效应晶体管的技术。

英文名称
multiple drain mesh; MDmesh
所属学科
电子科学与技术

多重漏极网格是意法半导体公司报道的技术。该技术综合了一种新的纵向漏极结构和网格重叠横向布局,但其与金属-氧化物-半导体场效应晶体管(metal-oxide-semiconductor field effect transistor; MOSFET)具有相同的工作原理。其耐压层采用多次外延形成,并对每次外延进行选择性异型掺杂,最后经退火形成连续的P、N条结构。

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