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双栅场效应晶体管

/double gate field effect transistor; DGFET/
条目作者卜伟海

卜伟海

最后更新 2023-08-07
浏览 157
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由两个栅极控制沟道开启和关闭的场效应晶体管。

英文名称
double gate field effect transistor; DGFET
所属学科
电子科学与技术

双栅场效应晶体管最早于20世纪80年代提出,区别于单栅与多栅场效应晶体管。早期的场效应晶体管均为单栅结构,即仅用单一栅极控制沟道开启和关闭。随着集成电路技术的发展,栅极长度或沟道长度持续微缩,出现了短沟道效应。此时,由于单栅结构对沟道的控制能力较弱,无法很好地控制关态情况下的泄漏电流。在双栅场效应晶体管中,由两个栅极控制同一沟道层,易于形成全耗尽效果,因此增强了沟道控制能力,可抑制短沟道效应和漏致势垒降低效应,提高亚阈值斜率,改善器件性能。

根据双栅位置与沟道电路方向相对关系,双栅场效应晶体管可分为平面双栅场效应晶体管、垂直双栅场效应晶体管和鳍式场效应晶体管(fin field effect transistor; FinFET)3种结构。在平面双栅结构中,两个栅极分别位于沟道层的上、下,沟道电流水平流动;在垂直双栅结构中,两个栅极分别位于沟道层的左右,沟道电流上下流动;在FinFET结构中,两个栅极也分别位于沟道的左右,但其沟道电流是水平流动的。虽然双栅场效应晶体管相比单栅结构在性能上有诸多优点,但是由于其结构较为复杂,所以工艺实现难度较高。在22纳米技术代之前,集成电路工业界的主流器件一直都是单栅场效应晶体管。平面双栅因为在结构上与单栅场效应晶体管最为接近,因此早期对双栅结构的研究多集中于平面双栅结构,但一直无法实现大规模量产。2011年,类FinFET结构的三栅器件首先被美国英特尔公司在22纳米技术代实现规模量产,FinFET从16/14纳米技术代开始成为国际工业界主流,并有望延续至5纳米技术代。

另有一种双栅场效应晶体管结构,可视为由两个单栅场效应晶体管串联而成,多应用于可控增益放大器和高频电子线路。

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