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微执行器
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力学
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机械工程
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[{"ID":42422,"Name":"理学"},{"ID":63591,"Name":"力学"},{"ID":64006,"Name":"交叉力学"},{"ID":64061,"Name":"微纳米力学"},{"ID":64062,"Name":"微纳米机电系统"}]
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理学
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微纳米力学
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微纳米机电系统
微执行器
/micro-actuator/
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条目引用
微机电系统（MEMS）、微流控系统及微机械人等微系统中的重要核心部分。
英文名称
micro-actuator
所属学科
力学
精选发现
芯片实验室
微纳米机电系统
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