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[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":80436,"Name":"电子科学与技术"},{"ID":80576,"Name":"传统半导体器件"},{"ID":80591,"Name":"【半导体工艺技术】"},{"ID":80594,"Name":"光刻技术"}]
. 工学 . 电子科学与技术 . 传统半导体器件 . 【半导体工艺技术】 . 光刻技术纳米光学光刻
/optical nanolithography/
最后更新 2023-03-17
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针对0.1～100纳米尺度的光学光刻。是纳米光刻技术的一个分支。
- 英文名称
- optical nanolithography
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
