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/micro-electromechanical system optical sensor/
最后更新 2023-08-29
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基于微电子机械系统（micro-electromechanical system; MEMS），利用光学方法将被测量转换成光学量或电学量传输出去的传感器。
- 英文名称
- micro-electromechanical system optical sensor
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
