氧化物半导体的电学性质与环境气氛有关。导电率随氧化气氛而增加的氧化物半导体称为氧化型半导体，是p型半导体；电导率随还原气氛而增加的氧化物半导体称为还原型半导体，是n型半导体；导电类型随气氛中氧分压的大小而成p型或n型半导体的氧化物半导体称为两性半导体。非单晶氧化物的制备方法是用纯金属高温下直接氧化或低温化学反应（如金属氯化物与水的复分解反应）等。单晶氧化物的制备方法有焰熔法、熔体生长法和气相反应生长法等。氧化物半导体氧化锌（ZnO）、氧化镉（CdO）和氧化锡（SnO₂）常用于制造气敏元件，氧化铁（Fe₂O₃）、氧化铬（Cr₂O₃）和氧化铝（Al₂O₃）常用于制造湿敏元件，SnO₂膜用于制作透明电极等。