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玻璃衬底

/glass substrate/
条目作者段瑞飞

段瑞飞

最后更新 2022-12-23
浏览 118
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在半导体照明领域,采用玻璃作为生长氮化物发光材料的基底层。

英文名称
glass substrate
所属学科
电子科学与技术

玻璃是人类较早开发利用的一种非晶材料,也是种类繁杂、成分较多、应用广泛的透明材料之一。玻璃具有价格低廉、大尺寸以及透明等特性,在玻璃衬底上实现氮化物蓝光发光二极管(light emitting diode; LED)是值得探索的技术路径。将玻璃用作衬底需要满足一定的条件,如玻璃材料的选择,需要考虑其耐温特性、耐腐蚀特性,以及表面和形状等物理属性。

国内外有很多研究机构都在开发透明玻璃衬底上的氮化物外延生长技术。玻璃衬底有望取代其他衬底材料,实现氮化物的照明性能。玻璃作为衬底的难点是在这种非晶衬底上制备出单晶,这需要全新的研究方法和思路,突破原有生长氮化物固定的思维模式,实现从非晶衬底到单晶薄膜的生长和转换过程。

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