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点测机

/probing machine/
条目作者段瑞飞

段瑞飞

最后更新 2022-01-20
浏览 183
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为了适应大工业生产设计制造的半导体芯片检测设备。

英文名称
probing machine
所属学科
电子科学与技术

在电子器件中,主要探测芯片的各种电学信号,并分析其电学信号是否在正常范围之内,从而确定其良品率;而在光电器件中,不仅要测试芯片的电学信号,还要测试其光学信号,比如发射波长、发光谱宽、发光强度等,通过电学信号和光学信号的标准来确定芯片良品率。

点测机的发展主要是为了适应电子产品的规模生产,通过自动机械装置替代人工对芯片进行检测,实现高效率的芯片器件测试,并最终用于电子或者光电子芯片的分选,是批量和低成本芯片制造的基础设备。

点测就是利用探针为芯片通电,同时通过相应的电路或者光路获得芯片的性能参数。现代的点测机通常采用自动探针台和图像识别系统,同时配备相应的测试机构,能够高速采集芯片数据,为电子和光电子芯片的规模化量产提供必要的支撑,利于高效率、低成本地测试半导体芯片。测试数据可以供分选机分选芯片使用。

半导体发光二极管、半导体垂直腔面发射激光器等器件制备完成以后,实现其自动化生产的第一步就是半导体芯片的自动点测。点测机的使用可以节约人工成本,提高生产效率,降低芯片成本。能够自动进行测试分选,是半导体器件大规模、低成本生产的一个可靠依据。

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