外延结构包含不同厚度和不同材料的多层晶体薄膜，可以大幅提高器件设计的灵活性和器件性能，广泛应用于半导体材料器件制备领域。外延结构可以是同质外延，如在氮化镓（GaN）衬底上生长GaN外延薄膜；也可以是异质外延，如在蓝宝石衬底上生长GaN，硅衬底上生长GaN等。外延结构的实现方法主要包括分子束外延和化学气相沉积等。
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. 工学 . 电子科学与技术 . 半导体照明技术 . 半导体照明材料外延 . 外延结构外延结构
/epitaxial structure/
最后更新 2022-12-23
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在单晶衬底（基片）上外延生长一些有一定要求的、与衬底具有相同晶格排列的单晶薄层结构。
- 英文名称
- epitaxial structure
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
