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硅衬底

/silicon substrate/
条目作者段瑞飞

段瑞飞

最后更新 2023-02-15
浏览 186
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在半导体照明领域,采用硅作为生长氮化物发光材料的基底层。

英文名称
silicon substrate
所属学科
电子科学与技术

硅的化学符号是Si,旧称矽。其原子序数为14,相对原子质量为28.0855,有无定形硅和晶体硅两种同素异形体,属于元素周期表第三周期,ⅣA族的类金属元素。硅是极为常见的一种元素,然而它极少以单质的形式在自然界出现,而是以复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式,广泛存在于岩石、沙砾和尘土之中。硅在宇宙中的储量排在第八位。在地壳中,它是第二丰富的元素,构成地壳总质量的26.4%,仅次于第一位的氧(49.4%)。

硅是较为成熟的半导体材料,是半导体集成电路产业的基石,具有完整的产业链。可以在硅衬底上实现相应结构材料的生长,并最终实现半导体发光器件的制备。但是,硅本身是间接带隙半导体,并不容易发光,因此硅基光电子是硅工业的短板。硅衬底可以为制备氮化物基发光二极管或者激光器,以及后续的光电集成提供基础条件。

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