阻挡杂质带红外探测器加一层未掺杂的本征层,可以限制探测器的暗电流,从而有效提高探测器的掺杂浓度,进而提高探测器的性能。根据非本征光电导理论,为了使探测器的量子效率和探测率达到最大,掺杂能级应尽可能高,但同时掺杂能级过高,往往会带来大的暗电流,限制器件的性能。基于此矛盾,1977年,美国罗克韦尔(Rockwell)国际科学中心首先提出了阻挡杂质带红外探测器(图1)。
早期阻挡杂质带(block impurity band,BIB)探测器的研发集中在掺砷硅(Si:As),其对2~30毫米波长范围的红外辐射敏感。后来由于磷广泛应用于商业集成电路中,所以掺磷硅(Si:P)BIB探测器应运而生,截止波长约为34毫米。而对于P型掺杂,则有掺硼硅(Si:B)的BIB探测器。硅基的BIB探测器的探测波段覆盖5~40毫米,锗基覆盖40~200毫米,而掺碲砷化镓(GaAs:Te)的BIB探测器截止波长则可达300毫米左右。
BIB探测器在中、远红外区探测性能优异,能满足红外天文观测的需求。1983年发射的首颗红外天文卫星(IRAS)采用了Si:As和掺锑硅(Si:Sb)的非本征光电导单元红外探测器。1989年发射的宇宙背景探测者(COBE)首次使用了Si:As BIB探测器。2003年,美国国家航空航天局(National Aeronautics and Space Administration,NASA)的斯皮策空间望远镜(Spitzer Space Telescope)采用了128×128和256×256的Si:As焦平面阵列及256×256的Si:Sb焦平面阵列。2009年,NASA的广域红外巡天探测卫星(WISE)配备的1024×1024 Si:As BIB焦平面探测器,其探测灵敏度比之前的IRAS、COBE高一千倍以上。此外,作为哈勃望远镜的后续,2013年发射的詹姆斯韦伯望远镜(JWST)上同样配备了1024×1024 Si:As BIB焦平面探测器。
BIB探测器的工作原理类似于非本征光电导探测器(图2)。以n型器件为例,由于吸收层中施主杂质重掺杂,导致施主电离的电子可以在相邻的施主之间跳跃,其结果是杂质能级分裂,形成杂质能带。而在阻挡层中掺杂浓度很低,相邻施主之间距离很远,可视为孤立原子,所以在阻挡层中形成的为孤立的不连续的杂质能级,吸收层中的电子不能通过杂质带进入阻挡层。当在阻挡层的一侧施加正的偏压时,电离后的n型杂质D+电荷会在外加偏压下反向跳跃到负电极处,且由于杂质带在阻挡层的不连续,D+电荷不能从阻挡层得到补充,从而导致吸收层靠近阻挡层的一侧D+电荷的耗尽,该区域称为耗尽区。耗尽区的宽度取决于施加偏压及补偿受主钠(Na)浓度。吸收层的另外一侧称为中性区,是因为在该区域内电场为零。
当红外辐射入射到探测器上,若光子能量大于施主杂质的电离能,则会形成导带电子和杂质带空穴,导带在吸收层和阻挡层中是连续的,则耗尽区中形成的光生载流子被外加电场扫出电极,其间会发生碰撞电离,产生增益,形成光电流。而中性区形成的载流子则会很快地被电离施主D+复合,难以形成光电流。
与非本征光电导探测器相比,BIB探测器有一些优点。①由于本征层的引入,大大降低了器件的暗电流,所以其吸收层的掺杂浓度可以比非本征光电导高两个数量级,从而提高器件的量子效率和探测率。②高掺杂浓度使得吸收层的吸收系数提高,从而能有效减小器件的体积,增强器件的抗宇宙辐射的能力。③BIB的产生-复合噪声比非本征光电导小。