高频干燥速度快，木材内温度均匀，残余应力小，干燥质量较好。但投资大、电耗高，适合大规格木材、珍贵阔叶材等难干材的干燥处理。

湿木材作为高频交变电磁场中的电介质，堆放在电极板之间，电极板与高频振荡电路相连。利用两电极板之间产生的高频交变电场，使木材中的极化水分子和木材物质非结晶区域存在的羟基等极性偶极子基团高速转动发生摩擦而发热，使木材从内到外同时加热进行干燥的过程，形成木材由内向外的温度梯度与含水率梯度方向一致，加速水分由木材内部向表面的移动。与真空联合时，更会叠加由内向外的压力梯度作用，同时表面水分蒸发强度加大，协同提高木材干燥速度。与常规干燥联合时使木材内部水分分布均匀，降低了干燥过程中的应力水平，从而提高干燥质量。

干燥设备由干燥机体、高频发生装置、电极板、测控系统和安全保护系统组成。与真空干燥联用时配置真空泵、冷凝器等装置；与常规干燥联用时，高频发生器作为辅助设备，将电极板置于材堆中使用。

高频-真空干燥时采用连续真空环境，干燥中依木材种类及含水率状态，各个干燥阶段设定不同压力和木材温度；通常含水率较高时采用压力高、温度低，至含水率较低时采用压力低、温度高的控制参数。常规-高频联合干燥时则主要依常规干燥工艺阶段，在预热、中间处理和终了处理阶段快速升温，使木材内部水分均匀分布，释放干燥应力；也可作为热源，在常规干燥中直接应用。