日本学者中山圭二（Keiji Nakayama）首先实验观察到摩擦等离子体。摩擦过程中，由于接触电势差等原因两个摩擦副表面会带上异号的电荷，因而在摩擦界面处形成强电场。由带负电表面溢出的电子或者由于温升、化学反应、宇宙射线等在界面间隙中产生的电子，在强电场作用下加速运动。当这些高速运动的电子与气体分子生碰撞时，生成气体分子正离子和额外电子。这一电子雪崩过程会产生大量的电子和正离子，进而在摩擦界面间隙处形成等离子体。

摩擦等离子体在摩擦过程中广泛存在。摩擦副为绝缘体、半导体、金属氧化物和DLC膜时，在干摩擦状态和润滑状态下，均观察到摩擦界面处的摩擦等离子体现象。研究摩擦过程中的摩擦等离子体将有助于解释摩擦发光、摩擦化学反应等现象。