石墨烯具有零带隙的特性,导致石墨烯场效应晶体管(graphene field effect transistor; GFET)不能截断,限制了其在数字晶体管中的应用。石墨烯具有超高本征载流子迁移率[200000厘米2/(伏·秒)]、超高饱和漂移速度(108厘米/秒)、宽波段的光电响应特性,以及超薄结构抑制短沟道效应的优势,理论上可以作为实现高特征频率(fT)和谐振频率(fmax)的射频器件,使其在射频和太赫兹频段的应用潜力超过传统半导体材料。
利用第一性原理模拟,北京大学研发人员构造了沟道长度小于10纳米的理想GFET,并计算其射频特性。仿真结果显示,当栅长小至0.91纳米时,石墨烯晶体管本征fT可高达21太赫,展示出石墨烯射频晶体管的应用潜力。然而,由于石墨烯材料对界面敏感,导致迁移率降低,以及器件结构和工艺制作等问题,石墨烯的本征优势实际上难以发挥。
2010年,中国学者廖蕾等人制备了T栅石墨烯射频器件,栅长140纳米的器件本征fT达到300吉赫,远超同尺寸下的硅器件。2012年,中国学者段镶锋等人使用转移栅介质的方法降低了栅界面散射,栅长40纳米的石墨烯器件本征fT达到427吉赫。2012年,美国国际商业机器公司(International Business Machines Corporation; IBM)采用化学气相沉积法制备石墨烯材料,获得了本征fT高达300吉赫的器件。2013年,通过降低寄生效应的影响,提高了本征fmax,美国佐治亚理工学院用T型栅设计降低栅阻,实现了250纳米栅长的石墨烯器件,本征fmax达70吉赫,实测值为38吉赫。2014年,河北半导体研究所采用类似的T型栅工艺,实现了栅长100纳米、本征fmax达105吉赫的石墨烯器件。2016年,南京电子器件研究所设计了一套自对准和T型栅的工艺方案,降低了欧姆接触和寄生效应的影响,fmax达到了200吉赫。这些研究工作逐步优化了石墨烯材料、器件结构和工艺,提高了器件性能,为石墨烯射频器件应用提供了可能。
基于石墨烯的射频器件弥补了传统半导体在该领域的不足,显示了其与传统半导体材料不同的优良特性,真正发挥了石墨烯卓越的材料特性,展示了它在射频、太赫兹、光通信等领域的重要应用方向和前景。