在浅玻璃容器上安装硅单晶薄膜，玻璃容器底部与硅单晶薄膜下表面真空喷镀金属薄膜，形成一对电容极板。硅单晶薄膜上方放置硅单晶腔体，腔体内抽成真空。玻璃腔体与大气相通，通过测量电容量推算气压。
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/silicon piezoresistive barometer/
最后更新 2023-11-08
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采用电容式硅单晶空盒作为气压感应元件的气压测量仪器。
- 英文名称
- silicon piezoresistive barometer
- 所属学科
- 大气科学
扩展阅读
- 张蔼琛．现代气象观测．北京：北京大学出版社，2015．
京公网安备 11010202008139号
