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洁净室特性

/characteristics of cleanroom/
条目作者许钟麟

许钟麟

最后更新 2024-12-05
浏览 136
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洁净室在静态时和动态时所具有的特性。是自身规律的反映。

英文名称
characteristics of cleanroom
所属学科
土木工程

图1中的参数适用于一般洁净室。其中,循环风比例;单位容积发尘量,单位为粒/(米3·分);为末级过滤器前几道过滤器的总效率;为末级过滤器效率;为换气次数。

图2 洁净室特性图2 洁净室特性

洁净室静态特性有:①大气尘浓度在106粒/升(大于等于0.5微米,相当于发生污染时,或大于等于0.1微米,用于极高级别的计算)之内的波动,对室内洁净度的影响可忽略不计。②对于末级过滤器不是高效过滤器的洁净室,室内浓度会受大气尘浓度波动的影响;若末级是中效过滤器,则室内浓度完全随着大气尘浓度的波动而波动。③末级过滤器效率越高,室内的影响越明显。对于高效空气净化系统的洁净室,是决定室内洁净度的重要因素。所以对这种洁净室室内管理比室外环境更重要。④末级过滤器效率达到0.99999对≥0.5微米的微粒,对于5级及低于5级的洁净室已足够了,提高效率的作用已不明显。所以,对于洁净度要求不是很高的洁净室,可以采用效率稍低而阻力、价格也低的过滤器,如亚高效甚至高中效过滤器,这对于拓宽洁净室的使用领域是有利的。⑤换气次数对含尘浓度的影响。如果末级的越大,则的影响越大;当是中效过滤器效率时,增大几乎无影响;室内发尘量越大的洁净室,的作用越大。⑥凡是送风气流比较均匀,或者多风口的洁净室,室平均浓度往往比回风口浓度低,不均匀分布系数小于1,相反的情况则室平均浓度往往比回风口浓度高,不均匀分布系数大于1。⑦如果尘源越接近主流区,则洁净室的平均浓度越小。

洁净室动态特性非常复杂,但不外乎净化过程和污染过程这两个过程的特性。若以曲线表示,则图2所示比较简单的一例:净化过程为下降曲线,污染过程为上升曲线。两个过程曲线都可以通过计算绘制出来。

图2 含尘浓度变化过程图2 含尘浓度变化过程

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