测量相对湿度的湿敏电容传感器由芬兰维萨拉（Vaisala）公司首先研制成功。

电容式湿度传感器主要由金属电极、感湿膜和玻璃基片构成，电容式湿度传感器的上电极是一层多孔膜（高分子感湿膜），能透过水汽；下电极为一对刀状或梳状电极，引线由下电极引出。基板是玻璃，整个感应器由两个小电容串联组成。感湿膜厚度仅为0.5～1微米，一般用高分子薄膜制成，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、醋酸纤维等。当环境湿度发生改变时，感湿膜能吸附或释放水汽分子，引起湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，电容变化量正比于相对湿度。

电容式湿度仪具有体积小、响应快、互换性好等优点，其测量不确定度在0℃以上为3%～5%RH，在0℃以下为5%～8%RH，且调整方便，便于批量生产，已广泛应用于探空仪和自动气象站。