20世纪80年代，随着微机械加工技术的发展，硅电容气压传感器逐步发展和成熟起来。2000年前后，自动气象站中大气压力测量广泛使用芬兰维萨拉公司（Vaisala）的硅电容气压传感器。自2013年起，在中国气象探测业务中，硅电容气压传感器全部替代了动槽水银气压表和定槽水银气压表。

电容式气压表主要由电容式压力传感器、信号处理单元、输出（显示）单元和电源组成。其中，电容式压力传感器是其核心单元。电容式压力传感器一般是利用弹性敏感元件作为感应元件，并作为一个活动板，与固定在传感器壳体上的定级板形成一个电容器。当压力通过工作介质加到动极板上时，动极板将产生位移，使两极板间的距离发生变化，从而使电容量发生变化，即可根据电容值的变化量进行压力测量。硅电容式气压传感器由硅、硅膜、金属薄片、玻璃及真空腔组成。

电容式气压表的测量范围为500～1100百帕，在其测量范围内各压力点最大允许误差一般不超过±0.3百帕，具有输入能量低、动态响应快、自然效应影响小、环境适应性好等特点，广泛应用于中国气象探测业务网。