1593年,意大利物理学家、数学家、天文学家和哲学家伽利略应用空气随温度升降而胀缩的原理发明了温度测量仪,是最早的温度测量仪器。它是一个带细长颈的大玻璃泡,倒置在一个盛有葡萄酒的容器中。从其中抽出一部分空气,酒面就上升到细颈内。当外界温度改变时,酒面因玻璃泡内的空气热胀冷缩随之下降上升,以表示温度的高低。
1664年,英国博物学家、发明家R.胡克(Robert Hooke,1635-07-28~1703-03-03)发明了温度表,确定水的冰点为温度表的定点。1665年,胡克制造了一个用作气象观测的标准温度表,被英国皇家学会采用了多年。荷兰物理学家、天文学家、数学家C.惠更斯(Christiaan Huygens,1629-04-14~1695-07-08)首次确定了温度目测的两个定点,即水的冰点和沸点。1709年,德国物理学家、工程师D.G.华伦海特(Daniel Gabriel Fahrenheit,1686-05-24~1736-09-16)于荷兰首次创立温标。到1714年制成以水的冰点为32度、沸点为212度、中间分为180度的水银温度计,即为至今仍沿用的华氏温度计。1742年,瑞典的天文学家A.摄尔西乌斯(Anders Celsius,1701-11-27~1744-04-25)制成另一种水银温度计,它以水的冰点为100度、沸点为0度。1745年,瑞典植物学家、动物学家C.von林奈(Carl von Linné,1707-05-23~1778-01-10)颠倒两个固定点,即为至今仍沿用的摄氏温度计。
18世纪末,出现了双金属片温度计。1821年,德国物理学家T.J.塞贝克(Thomas Johann Seebeck,1770-04-09~1831-12-10)发现热电效应,英国的H.戴维发现金属的电阻随温度而变化的规律,此后分别出现了热电偶温度计和热电阻温度计。1876年,德国的K.W.西门子制造出第一支铂电阻温度计。20世纪初维恩位移定律和普朗克定律出现后,辐射温度计和光学高温计得到实用。从60年代开始,由于红外技术和电子技术的发展,出现了利用各种新型光敏或热敏检测元件的辐射温度计(包括红外辐射温度计)。