检漏的任务是在制造、安装、调试过程中，判断漏与不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在运转使用过程中监视系统可能发生的泄漏及其变化。检漏装置主要在对承压设备的密封性进行测试时使用。用检漏装置对各个密封面如法兰、阀门、螺纹连接处及焊缝进行查漏，最常见的是用中性发泡剂对试验装置的各个密封面、焊缝等进行涂刷，以是否出现气泡来判断是否有渗漏。如果采用惰性气体试验，则看检漏装置有无惰性气体泄漏指示。小型承压设备还可以浸入水中检查有无泄漏。

常用的检漏装置有氦质谱检漏装置、卤素检漏装置。

氦质谱检漏仪是以氦气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的专用检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便、检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得最普遍的检漏仪器。其测量工作是先将被检件内部充入氦气（最好是先抽真空再充氦气），再用吸嘴在被检件可能有漏孔处进行逐点吻吸（图1）。吸嘴与检漏仪之间用软管连接，有些装置还需要在吸嘴与检漏仪之间加一辅助泵。

图1 吸嘴法检漏原理图

卤素检漏法的原理是当铂加热到800～900℃时会产生正离子发射，在卤素气氛中这种正离子发射将急剧增加，这就是所说的“卤素效应”（图2）。利用此效应而设计的检漏仪称为卤素检漏仪。根据使用条件不同，卤素检漏仪可分为两类：①固定式卤素检漏仪，敏感元件和待检系统相连；②携带式卤素检漏仪，不与待检系统相连。

图2 卤素检漏法原理图