激光(辐射受激发射光放大)是一种能在空间上和时间上高度集中的电磁波,具有高功率密度、非接触、无磨损和高精度的优势。激光制造是通过光与物质的相互作用,实现材料成形(烧蚀)与改性的过程。其实现方式是通过将激光能量经过加工物镜(透镜)聚焦于材料表面或内部达到很高的能量密度实现加工目的。
根据聚焦能量的不同,被加工材料可发生烧蚀或改性。对于传统长脉冲激光,当作用激光能量较大,材料去除/损伤是通过入射激光加热电子从而将能量传递给晶格达到材料的熔点/沸点发生熔化,形成热烧蚀实现材料形态的改变。对于超短脉冲激光(脉冲宽度小至皮秒量级),由于其脉宽大大短于电子-晶格弛豫时间(10-12~10-10秒),激光的能量吸收在晶格升温前已完成,电子-晶格处于非平衡状态,材料的去除是通过非热烧蚀实现的。利用超快激光的高功率密度产生非线性效应,将激光能量迅速沉积到材料中发生非热烧蚀。当激光作用能量较低,未达到材料的烧蚀阈值发生材料去除/损伤而局部材料作用区发生了物理、化学、力学性能或光学性能等的改变,称之为激光改性。通常,激光诱导材料改性区别于激光烧蚀的重要条件之一是不会发生材料形态的改变。
以普通高斯分布激光为例(见图),区域I为高斯激光辐照区域。当激光能量密度超过材料的改性阈值时所作用的区域为激光作用区域,即区域Ⅱ。当激光能量密度超过材料的烧蚀阈值时所作用的区域为激光烧蚀区域(区域Ⅲ)。