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. 工学 . 机械工程 . 机械工程基础 . 〔机械制造基础〕 . 加工制造 . 微纳机电系统微/纳机电系统
/micro/nano electromechanical system; M/NEMS/
最后更新 2022-12-23
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利用微/纳制造技术加工出的各种微/纳结构和器件的系统。
- 英文名称
- micro/nano electromechanical system; M/NEMS
- 所属学科
- 机械工程
京公网安备 11010202008139号
