通过聚焦激光在样品表面形成脉冲等离子体，利用光谱仪对等离子体发射光谱进行分析，以此分析样品中的元素组成及含量信息。

将激光聚焦到样品表面进行检测，激光发射后，在样品表面蒸发纳克到皮克的范围内的材料并产生温度超过10000℃的等离子体羽流。在该温度下，烧蚀的材料分解成激发态的离子和原子并发射出一个强且连续的辐射，随后，在非常短的时间范围内，等离子体以超音速膨胀并冷却，此时可观察元素的特征原子发射光。连续辐射和特征辐射发射之间存在一定时间的延迟，因此需要对检测器进行时间门控。

理论上，激光诱导击穿光谱仪器可分析任何物质任何形态下的任何元素，无论是固体、液体还是气体。如果要分析的材料的组分是已知的，则可以通过各元素的发射强度评估每个元素的相对丰度，或者检测杂质的存在。该技术与其他相关联技术的联用将在工业应用中发挥一定作用，从而允许对样品进行原子、分子和结构表征的同时检测，并且更深入地了解样品的综合性质。