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TDI-CMOS

/time delay integration complementary metal oxide semiconductor sensor/
最后更新 2023-03-16
浏览 153
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以时间延迟积分方式工作,采用CMOS工艺制造的光电探测器件。

英文名称
time delay integration complementary metal oxide semiconductor sensor
所属学科
航空宇航科学与技术

由于采用了大规模集成电路的主流工艺,TDI-CMOS可以将原TDI-CCD的外围驱动和信号处理电路与像元阵列一起集成在单片管芯上面,直接实现数字量输出,从而大大提高了集成度,简化了配套的电子学系统,降低了系统的体积、重量与功耗。

TDI-CMOS按信号累加方式的不同原理,有三种技术途径实现TDI:电荷域累加、电压域累加、数字域累加。

电荷域累加是TDI-CCD的工作原理,信号累加而噪声不累加。由于主流特征尺寸的CMOS工艺只有一层多晶硅,并且工作电压较低,实现高满阱容量和高转移效率难度较大,采用CMOS工艺制造了嵌入式电荷耦合器件(embedded CCD)像元阵列,做出了综合性能优于TDI-CCD的图像探测器。

电压域累加是在像元内将电荷转换成电压,然后在片内用电路将像元输出的电压量累加,由于电荷转换成电压时将产生噪声,所以每次累加信号时,这部分噪声也同时累加,所以信噪比收益比电荷累加型的要差,而且电压累加电路结构复杂,不好实现,该技术途径逐渐被放弃。

数字域累加可以用面阵CMOS图像传感器来实现,使用时将若干行的数字信号累加,得到相应TDI级数的信号,由于数字域累加时信号处理链路上产生的所有噪声都同时累加,所以信噪比收益最差,行速率也受限于帧速率。但技术成熟,容易获取。

由于航天应用的高性能需求,采用嵌入式CCD工艺的电荷累加型TDI-CMOS技术迅速发展,正逐步替代TDI-CCD。

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