超声加工系统的四大组成要素或子系统为：①超声驱动系统。提供超声振动系统振动能量的子系统。又称超声驱动电源或超声电源。它将输入的低频、低电压交流电转换为高频、高电压交流电，输出给超声换能器，并与超声换能器、变幅杆和工具构成等效电路，是等效电路中实现调谐匹配的关键部件。②超声换能器。实现电能-机械能转换的子系统。以超声加工常用的电声换能器为例，其核心是压电陶瓷堆，其结构尺寸、前后盖板材质、压电陶瓷的性能极大地影响换能器电声转换效率。③超声变幅系统。实现功率超声大功率、大振幅输出的子系统。变幅系统的结构型式、结构尺寸、材料是影响变幅特性的主要因素，它们还会影响系统的波节位置。合适的波节位置能够最大程度地减小因装卡限制而造成的能量损失。④工具系统。用于加工的工具及其附带的与变幅系统连接的端口装置（如刀柄）。其结构特点必须在系统设计时考虑，必要时需设计制造专用工具。

超声换能器和超声变幅系统、工具系统构成了超声激振和传振系统。如果工具相对其他部分体积很小，则不必包含在超声激振和传振系统中，在系统设计时单独予以考虑。

大到超声加工专用机床，小到作为机床附件使用的超声加工装置，都具备上述超声驱动系统、超声换能器、超声变幅系统、工具系统这四大要素，因此都是超声加工系统。