采用电液伺服阀的电液伺服作动器，利用伺服阀前置级实现电气至机械液压的转换，依靠伺服阀的第二级或主控阀进行功率放大，产生输出负载流量与压力，驱动作动筒产生机械运动与功率输出。同时利用敏感作动筒活塞位移的传感器构成闭环位置控制系统，实现对指令的伺服控制。

为了实现电传余度作动器的内部故障逻辑与管理，余度电液伺服作动器内部还采用了大量的电磁阀、转换阀、模态选择阀、回中阀、液压故障检测器等系列功能元件，通常以插装阀的形式安装在作动器壳体内部。伺服阀是电液作动器的核心，根据伺服阀前置级的结构可以分为喷挡式与射流式。其中射流式伺服阀又可分为偏转板式和射流管式。总体来讲，射流式伺服阀的抗污染能力优于喷挡式伺服阀，射流式伺服阀的低温性能较差，频响和死区性能不如喷挡式伺服阀。电液伺服作动器具有控制精度高、体积小、重量轻的优点以及优良的动态响应，广泛应用于各类军机与民机的电传飞行控制系统。