超声加工技术主要是针对不规则形状加工，以及硬脆性材料的去除加工，常用于穿孔、切割、焊接、套料和抛光。其工作原理是：由超声发生器产生高频电振荡，施加于超声换能器上，将高频电振荡转换成超声频振动。超声振动通过变幅杆放大振幅，并驱动以一定的静压力压在工件表面上的工具产生相应频率的振动。工具端部通过磨料不断地捶击工件，使加工区的工件材料粉碎成很细的微粒，被循环的磨料悬浮液带走，工具便逐渐进入到工件中，从而加工出与工具相应的形状。超声加工的载体是超声加工机，主要由电源(即超声发生器)、振动系统(包括换能器和变幅杆)二部分组成（见图）。超声发生器将交流电转换为超声频电功率输出，功率由数瓦至数千瓦。功率的大小决定了刀具所能完成加工的面积，对于材料的去除率也有很大的影响。

超声波加工示意图

超声加工技术的主要特点是：①不受材料是否导电的限制。②工具对工件的宏观作用力小、热影响小，因而可加工薄壁、窄缝和薄片工件；被加工材料的脆性越大越容易加工，材料越硬或强度、韧性越大则越难加工。③由于工件材料的碎除主要靠磨料的作用，磨料的硬度应比被加工材料的硬度高，而工具的硬度可以低于工件材料。④可以与其他多种加工方法结合应用，如超声振动切削、超声电火花加工和超声电解加工等。

1927年，美国物理学家R.W.伍德^[注]和A.L.卢米斯^[注]最早做了超声加工试验，利用强烈的超声振动对玻璃板进行雕刻和快速钻孔，但当时并未应用在工业上。1951年，美国的A.S.科恩制成第一台实用的超声加工机。20世纪50年代中期，日本、苏联将超声加工与电加工(如电火花加工和电解加工等)、切削加工结合起来，开辟了复合加工的领域。这种复合加工的方法能改善电加工或金属切削加工的条件，提高加工效率和质量。1964年，英国又提出使用烧结或电镀金刚石工具的超声旋转加工的方法，克服了一般超声加工深孔时，加工速度低和精度差的缺点。

超声加工技术主要用于多个领域的各种硬脆材料的加工中，如玻璃、石英、陶瓷、硅、锗、铁氧体、宝石和玉器等的打孔(包括圆孔、异形孔和弯曲孔等)、切割、开槽、套料、雕刻、成批小型零件去毛刺、模具表面抛光和砂轮修整等方面。