1846年,意大利人毛斯[注]发明了硬岩掘进机。1851年,美国人C.威尔逊开发出一台掘进机(TBM),在花岗岩中试用,未获成功。1881年,波蒙特开发了压缩空气式TBM,并成功应用于英吉利海峡隧道直径为2.1米的勘探导坑。
美国罗宾斯[注]公司自1952年制造出现代意义上的第一台软岩TBM后,1956年又研制成功中硬岩TBM。从此,TBM进入了快速发展时期。全球TBM制造商主要有德国的海瑞克公司、加拿大的拉瓦特公司、日本的三菱公司等。TBM的技术已经成熟,为复杂地质条件下的隧道工程建设提供了技术保障。
中国TBM的发展分为4个阶段。第一阶段自20世纪60年代开始,水电部上海勘测设计院和北京水电学院于1964年进行了TBM的方案设计,1966年由上海水工机械厂生产出中国第一台直径3.4米的掘进机。第二阶段从70年代开始,由中国科学院(后转到国家科委)牵头,组织53个单位进行TBM有关各子课题的攻关。第三阶段从80年代开始,中国制造出第三代SJ40/45(直径4~4.5米)和EJ-50型(直径5.0米)掘进机,分别在福建龙门滩引水隧洞和山西古交东曲煤矿进行工业性试验。此间,上海水工机械厂生产的SJ58型TBM(直径5.8米)在引滦入津工程的新王庄隧洞和古人庄隧洞分别掘进了1448米和1247米。第四阶段从90年代开始,中国水电部门开始引进国外先进的掘进机进行水工隧洞施工,其典型实例为甘肃引大入秦工程30A隧洞和山西万家寨引黄入晋工程8条隧洞,施工长度累计超过130千米,平均月进度1000米以上,最高月进尺达1821.50米。90年代后期,中国铁道部从德国维尔特公司引进了两台直径8.80米开敞式全断面掘进机,先后完成西安—安康铁路秦岭Ⅰ线隧道和西安—南京铁路桃花铺1号隧道、磨沟岭隧道的施工,累计掘进总长度23千米。