中国古代历朝监察机构的地位与皇权强弱息息相关，凡是皇权强的朝代，监察机构地位就高，一旦皇权弱化，监察机构就易于成为权力争斗的工具。

秦朝开创监察机关独立并自成系统的监察体制。秦朝建立后，在中央设立了专门的监察机关御史府。秦律规定，御史大夫与主管行政的丞相、掌军事的太尉一起，并称为“三公”。御史大夫的地位与丞相、太尉同等，而且御史府与丞相府并立。

两汉中央多重监察与地方垂直领导的监察体制。西汉前期袭秦制，实行单一监察体制。从西汉中期开始，3个互不统属的监察机构并立：①御史府。上自三公九卿，下到一般属僚，朝廷百官无不在其纠举弹劾之列。②丞相司直。其职掌是“掌佐丞相举不法”。实际上，丞相司直有权弹劾朝廷所有官员。③司隶校尉。中央机关及其官员，京师附近诸郡长吏，住京贵戚及进京述事的郡县吏员使者等，皆在其监察之内。东汉御史台设置及职掌与西汉御史府大抵相同，但东汉御史台名义上皆隶属皇帝的少府。在地方，汉武帝在元封五年（公元前106）下诏将地方103个郡、国划分为13个监察区，由中央御史府派刺史，职掌“周行郡国，省察治政，黜陟能否，理断冤狱”。

隋唐中央监察机关单一化与地方监察机关垂直领导体制。隋朝鉴于魏晋南北朝多重监察的弊病，设立单一的最高监察机关御史台。御史台的地位与分掌行政的尚书、门下、内史、秘书和内侍等省并立。对地方州县官吏的监察，在隋文帝时未成定制，直到炀帝大业二年（606），建司隶台，“掌诸巡察”。到隋末，将司隶台并入御史台，由御史台派刺史巡察郡县。唐朝袭隋制在中央设御史台为全国最高监察机关。唐朝御史台的御史大夫、中丞及三院监察官各有其职掌，职责分明。御史台的地位，与政府掌行政的尚书、中书和门下三省并立。唐时规定，凡特别重大的刑事案件都由大理寺会同刑部尚书、御史台御史中丞共同审理，称为“三司推”。唐太宗贞观元年（627），依“山河形便”，将全国地方的二百五十余州分属于十道监察区。唐玄宗开元二十一年（733），改十道为十五道，属于中央御史台垂直领导。

宋朝台谏职责合一与地方官兼领监察的多重体制。宋朝中央监察机关为御史台和谏院两大并立的机构。御史台下属三院，为台院、殿院和察院。谏院置左、右谏议大夫各一人。宋朝御史台与谏院机构并存，却开创了台谏职责合一的先河。在宋朝统治的319年（960～1279）间，御史与谏官职权相混，主纠弹的御史许言事，主规谏的谏官许纠弹。台谏合一，目的在于加强皇权专制，遏制宰执大臣擅权。宋朝对地方监察背离汉唐之规，采取由地方他官兼领的多重监察体制。这种体制弊病甚多，宋朝地方吏治愈发腐败，与此有关。

元朝提高中央监察机关的地位与地方沿袭汉唐的垂直领导体制。元朝于世祖忽必烈至元五年（1268），在中央建立“司黜陟”的御史台，不再专设谏官和谏院，其谏职由御史台监察官兼而行之，故元朝的监察官为“纠言之官”。御史台的地位，与“总政务”的中书省、“秉兵柄”的枢密院，并立为中央三大重要机关之一。忽必烈曾精辟地指出，中书省是其左手，枢密院是其右手，御史台是其用来医治左右两手的。元朝地方监察机关为行御史台和肃政廉访司。

明清两朝的监察体制更趋完备。明朝中央监察机关为都察院和六科给事中两个系统。对于都察院的地位及重要性，朱元璋曾明确指出：“国家立三大府，中书总政事，都督总军旅，御史掌纠察，朝廷纪纲尽系于此，而台察之任尤清要”。明朝为加强监察，又另置六科给事中专察中央政府吏、户、礼、兵、刑、工六部的政务及其官吏。科道官职权之广，权威之重，组织之庞大，历代均不能望其项背。明朝在对地方官吏的监察上，一是都察院下设十三道监察御史，对地方十三布政使司和掌军事的十六个都指挥使司实施监察；二是以十三布政使司的行政区划，置十三个提刑按察使司，掌司法与监察，属都察院垂直领导。清代的中央监察机关是都察院，都察院的长官为左都御史，其地位与六部尚书相当。都察院下设十五道监察御史监察地方行省、府、州、县的政务及其官吏。各道的御史除掌稽核该省刑民案件和纠弹任务外，并也可稽查中央各部门事务及其官吏。