化学气相渗透工艺是在化学气相沉积技术的基础上发展起来的，是制备陶瓷基复合材料的工艺。1962年，R.L.比克代克^[注]首次提出利用化学气相渗透工艺增加多孔碳材料的密度。化学气相渗透工艺根据主要控制参数的不同可分为5类：等温-等压化学气相渗透工艺、热梯度化学气相渗透工艺、压力梯度化学气相渗透工艺、热梯度-压力梯度化学气相渗透工艺、脉冲化学气相渗透工艺。

化学气相渗透工艺的主要优点是：①可在低温低压下进行渗透反应，对纤维损伤较小，材料内部残余应力较小，可制备高断裂韧性陶瓷基复合材料。②工艺灵活，通过改变工艺参数，可方便地对陶瓷基复合材料界面、基体的组成与微观结构进行设计，从而制备满足各种需求的陶瓷基复合材料。可制备基体包括硅化物、碳化物、氮化物、硼化物和氧化物等多种陶瓷材料。③能制备形状复杂、近净尺寸及高纤维体积分数的构件。④制备的陶瓷基体纯度高，晶型完整。