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离子束溅射

/ion beam sputtering/
最后更新 2022-12-23
浏览 154次
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在真空环境中，利用从离子源引出的高能离子束对材料表面进行轰击，使材料的原子或分子从表面溅射出来的技术。

英文名称
ion beam sputtering
所属学科
机械工程

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