电火花高速小孔加工工艺是20世纪90年代发展起来的。其工作原理的要点有三：一是采用中空的管状电极；二是管中通高压工作液冲走加工屑；三是加工时电极作回转运动，可使端面损耗均匀，不致受高压、高速工作液的反作用力而偏斜。相反，高压流动的工作液在小孔孔壁按螺旋线轨迹流出孔外，像静压轴承那样，使工具电极管“悬浮”在孔心，不易产生短路，可加工出直线度和圆柱度很好的小深孔。加工时工具电极作轴向进给运动（见图），管电极中通入1～5兆帕的高压工作液（自来水、去离子水、蒸馏水、乳化液或煤油）。

电火花高速小孔加工原理示意图

由于高压工作液能迅速将电极产物排除，且能强化火花放电的蚀除作用，因此这一加工方法的最大特点是加工速度高。一般小孔加工速度可达20～60毫米/分，比普通钻削小孔的速度还要快。这种加工方法最适合加工0.3～3毫米的小孔，且深径比可超过100。

用一般空心管状电极加工小孔，容易在工件上留下毛刺料心，阻碍工作液的高速流通，且过长过细时会歪斜，以致引起短路。为此高速加工小深孔电火花加工时采用专业厂特殊冷拔的双孔管状电极，其截面上有两个半月形的孔，如图中放大截面图形所示，这样加工中电极转动时，在工件上不会留下毛刺料心。

应用该方法，中国加工出的样品中有一例是直径为1毫米、深1000毫米的小深孔零件，且孔的尺寸精度和圆柱度均很好。该方法还可以在斜面和曲面上打孔，已被用于线切割零件的预穿丝孔、喷嘴以及耐热合金等难加工材料的小孔加工中，并且会日益扩大其应用领域。