微细电火花加工技术的研究起步于20世纪60年代末。荷兰飞利浦研究院的人员用微细电火花加工技术成功地加工出了直径30微米、精度0.5微米的微孔。但当时尚无法解决微细电极的在线制作问题，使得其加工效率偏低，加工精度一致性较差，这一成果并未引起人们足够的重视。进入80年代后，随着微机电系统技术的蓬勃兴起，以及这一时期现代电力电子技术的发展，尤其是1984年日本东京大学增泽隆久发明线电极电火花磨削技术后，成功地解决了微细电极的在线制作这一瓶颈问题，使微细电火花加工技术进入了实用化阶段，并成为微细加工领域的热点研究内容之一。

微细电火花加工的原理与普通电火花加工并无本质区别。其加工的表面质量主要取决于电蚀凹坑的大小和深度，即单个放电脉冲的能量；而其加工精度则与电极损耗、伺服稳定性等因素密切相关。对微细电火花加工技术的研究主要集中在能产生极微能量并且可控性良好的脉冲电源、放电状态的有效检测、微细电极的在线制作与检测、高分辨率的伺服进给系统、狭窄放电间隙内电蚀产物的排出、电场与流场仿真，以及高精度的机床本体等方面。

实现精密、微细加工的一个重要条件是加工单位尽可能小。而在电火花加工过程中，其加工单位（即每次放电的蚀除量）只取决于单个放电脉冲的能量。随着现代电力电子技术的发展，电火花加工的加工精度与表面质量得到了极大的提高，加工单位也日趋变小。应用微细电火花加工技术已可稳定地得到尺寸精度高于0.1微米，表面粗糙度Ra＜0.01微米的加工表面。

微细电火花加工技术主要应用于金属材料，尤其是难切削加工金属材料的微细轴、微小孔、阵列孔、斜孔、窄槽、窄缝及微小三维结构等的加工，如汽车、航空航天发动机喷嘴孔、微小齿轮、微泵、微阀壳体等。