19世纪后期,为适应工业化大批量生产的检测需求,出现了截面投影仪。20世纪初期,截面投影仪得到大量应用。
截面投影仪利用光学投影放大原理,采用反射或透射照明所要测量的样品,并经过光学成像系统放大投影于屏幕。实现对目标样品的放大成像,供使用者观察或者精确测量目标与样品的细节。为了实现不变形的投影放大成像,一般采用远心光学投影成像系统。而且光学系统的畸变矫正的精度比较高,以保证测试精度。
主要有台式与大型卧式两种。台式截面投影仪小巧,适合于小样品的观测,卧式截面投影仪较大,一般适合大样品的检测,主要由投影箱、主壳体和工作台构成。投影箱包括成像系统即物镜,反光镜M1与M2投影屏等,投影屏旋转机构上装有角度感测器。除支撑投影箱和工作台外,主壳体还包含仪器的照明系统、电器控制系统以及冷却风扇等。工作台是一个关键部件,配置了精确的距离测试传感器可以实现样品的三维运动以及运动距离的精确测量(坐标测量用)和垂向(Z轴)运动(调焦用)。
截面投影仪适用于以二坐标测量为目的一切应用领域,在机械、电子、仪表、塑胶等行业广泛使用。能高效地检测各种形状复杂工件的轮廓和表面形状,如各种机械原件、工具、纤维细丝、半导体器件、珠宝印鉴、动物标本切片等。