清洁晶体表面实际上不会是完整表面，因为这种原子级的平整表面熵很小，属热力学不稳定状态，故而清洁表面必然存在平台、台阶、扭折位、附加原子以及平台空位等表面缺陷（见图）。其配位饱和度顺序为平台＞台阶＞扭折位＞附加原子（平台空位）。在真实表面上，平台、台阶、扭折位都具有很大的平衡浓度。附加原子和平台空位虽然平衡浓度很小，一般远小于0.01个原子层，但其对表面原子沿着表面的迁移起很大作用。不同的晶体各种表面位置的平衡浓度有所不同，同一晶体的各种不同晶面的平衡浓度也有所不同。低晶面指标晶面的原子密度大，表面自由能小，因而表面不规则位置的浓度也小。高晶面指标的面本身原子密度小，表面不规则位置的浓度大。处在不同表面位置（最近邻数不同）的表面原子，在化学反应中所起的作用也不一样。例如有研究表明在铂单晶表面上的H₂+D₂→2HD同位素交换反应时，处在台阶位置上的铂原子对断裂H─H键是很有利的。

晶体各种表面缺陷示意图