硅藻土主要由硅藻遗体（蛋白石）组成；海绵岩主要成分为硅质海绵骨针，成分多为蛋白石，有时为玉髓；放射虫岩主要成分为放射虫壳，可分为疏松的和坚硬的两种；蛋白土和板状硅藻土的成分主要都是蛋白石，常成细小的棱角状或球粒状指点的集合体。

由于硅质生物残骸常被快速堆积的钙质软泥分散，所以只有在碳酸盐堆积较少或被分解较快（CaCO₃的溶解速度快于非晶SiO₂而使硅质的含量相对增高）的海域才出现硅质沉积。同时要求沉积海域的富硅质有机体生产力特别高。

现代大洋中，硅质软泥形成三带，即太平洋赤道带、环北极不连续带和环南极连续带。其中，环南极连续带沉积量最大，沉积速率最高，大洋硅质软泥的75%沉积在这里。此外，各大洋东侧上升流分布区，也是硅质软泥发育区。