表面质量评价一般包括表面粗糙度、表面微观形貌和表面损伤等指标。其中表面粗糙度和表面微观形貌是工件几何形状主要组成部分，反映工件表面真实的表面形貌，直接影响光学元件的光学性能。

表面粗糙度是指光学表面具有的较小间距和微小峰谷不平度，用肉眼是难以观察的，因此它属于微观几何形状误差，在几何特征参数里面，表面粗糙度是最成熟和最便于应用的表面评定数据。

微观形貌主要是指表面形貌、加工纹理度和波度。表面形貌主要采用观测工具（激光共聚焦显微镜、电子扫面显微镜和超景深显微镜）得到三维形貌，对表面轮廓有直观了解。加工纹理度主要是指加工方向，通常采用加工方向和工件受力方向的夹角来描述，理想的加工工艺这个夹角接近0度。波度是加工进给量的大小，主要反映接刀时留下的表面轮廓特征。

表面缺陷主要指光学加工过程导致的微观表面缺陷，是由于加工过程中局部加工损伤、材料本身缺陷等造成的，使表面粗糙度变大，导致零件不合格。