与轮廓检测相比，干涉检测的检测精度高，一般作为光学面形的最终检测手段。其基本原理是由参考光和经待测光学元件表面反射的被检光干涉得到带有光学面形信息的干涉图，通过分析干涉场中条纹明暗疏密的变化和形状变化，获得相关信息评价光学元件表面质量。

干涉检测法可以检测平面、球面、非球面及自由曲面等多种光学面形。对于球面镜的面形检测，需要调整干涉仪或待测镜将由干涉仪球面标准镜出射的球面波焦点与待测球面镜的球心重合，检测光经过球面镜反射后能够沿原路返回，与由球面标准镜反射的参考球面波干涉，得到球面镜的面形信息。非球面干涉检测分为零位检测法和非零位检测法。①零位检测法，包括无像差点检测法、补偿镜检测法和计算全息等。由于参考光和被检光共光路，可以很好地消除干涉仪的非共路误差；但是要实现零位检测往往需要高精度的零位补偿器，并且补偿器须与待检非球面相对应。因此零位检测通用性较差，成本较高，但是检测精度也高，适用于高精度检测领域。②非零位检测法，包括部分补偿法、剪切法、长波长法、亚奈奎斯特采样法等，非零位检测通过部分补偿法、拼接检测法（如圆形子孔径拼接、环形子孔径拼接）或使用特殊的接收器（如亚奈奎斯特采样法）来扩大干涉仪的检测范围，实现对非球面面形的检测；但是扩大检测范围往往会造成检测精度的降低，并且由于参考光和检测光不共光路，也会引入一定的非共光路误差。因此与零位检测相比，其检测精度相对较低。