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. 工学 . 光学工程 . 材料与器件 . 光学设计与加工 . 光学检测 . 面形检测 . 光学亚表面损伤光学亚表面损伤
/optical subsurface damage/
最后更新 2022-01-20
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光学元件近表面区域由机械加工过程造成断裂、变形和污染等内部缺陷的损伤。
- 英文名称
- optical subsurface damage
- 所属学科
- 光学工程