光学测量方法具有纳米级甚至更高的纵向分辨率特点。表面轮廓误差通常是周期起伏的，按周期长短把表面几何形状的偏差分解为宏观的形状误差、中间的波纹度和微观的粗糙度，并分别进行评定与控制。

通过测量方法获得表面轮廓曲线以后，需规定一条定量计算表面粗糙度各种轮廓参数值的基准线。光学表面粗糙度主要采用中线制，以中线为基准线评定轮廓的计算制。在评定光学表面粗糙度时，如果取样长度不同，就会得到不同的高度数值。当提出表面粗糙度要求时，必须同时给出粗糙度参数值和测定时取样长度值两项基本要求。为了控制粗糙度测量结果中波纹度附加进去的成分不超过一定限度，取样长度不能太长。大多数试样的取样长度为波距时，造成的波纹度被计入粗糙度的数值一般不大于波高值的；需保证在取样长度内求得的表面粗糙度数值，能充分反映表面粗糙度特征，取样长度也不能太短，选定取样长度下限最小值应不小于5倍粗距。如果表面粗糙度均匀性比较好，在一个取样长度内测量，便能获得可信赖的结果；假若表面的均匀性较差，则必须在较长的包含几个取样长度段的范围内测量，然后取其平均值，才能代表这一表面的粗糙度特性。