超高频法最早应用于气体绝缘开关设备的局部放电检测中。

超高频法分为超高频窄带检测法和超高频超宽频带检测法。前者中心频率在500兆赫以上，带宽为十几兆赫或几十兆赫，而后者带宽可达几吉赫。通常所说的超高频检测技术即指超高频超宽频带检测。根据现场设备情况的不同，可以采用内置式超高频传感器和外置式超高频传感器。用于超高频局部放电检测的传感器主要为微带。

电力设备绝缘体中绝缘强度和击穿场强都很高，当局部放电在很小的范围内发生时，击穿过程很快，将产生很陡的脉冲电流，其上升时间小于1纳秒，并激发频率高达数吉赫的电磁波。局部放电的击穿过程越快，脉冲电流的前沿陡度越大，则辐射的电磁波的频率越高。超高频法基本原理是通过UHF传感器对电力设备中局部放电时产生的波段为0.3吉赫～3吉赫超高频电磁波信号进行检测，从而获得局部放电的相关信息，实现局部放电监测。

超高频法具有以下优点：①抗干扰能力强。被检测设备以外的干扰信号，其频谱范围较被检测设备内的局部放电信号要窄得多，一般认为频率在150兆赫以下，信号在传播过程中衰减很快，对设备局部放电测量装置影响很小。采用超高频检测方法可有效避开各种干扰信号，提高局部放电测量的信噪比。②可实现局部放电定位。根据电磁脉冲信号在设备内部传播具有衰减的特点，利用传感器接收信号的幅值大小，可以进行设备故障定位。③检测效率高。超高频法检测局部放电的有效检测范围较大，检测点较少，检测效率高。④检测灵敏度高。设备同在具有轴结构时非常适合特高频电磁信号传播，能够实现良好的检测灵敏度。

超高频法已在检测大型电力变压器、气体绝缘开关设备、电力电缆、高压开关柜等设备的局部放电上得到应用。