早期的肖特基二极管是触须接触肖特基二极管，随着半导体技术和工艺的进步，20世纪80年代出现了平面肖特基二极管，平面结构比触须结构更加坚固、便于集成、可靠性高，便取代了触须接触肖特基二极管。

肖特基二极管是一种多数载流子导电器件，一般指平面肖特基二极管，与触须接触肖特基二极管相比，平面肖特基二极管的特点主要有：①平面结构比触须结构坚固，不易损坏；②平面结构生产一致性优于触须结构，可靠性高；③平面结构便于集成，更易实现电路小型化；④工作频带宽、噪声电平低、动态范围大以及结构相对简单。

肖特基二极管是利用金属和低掺杂的N型半导体接触形成肖特基结产生非线性效应；利用金属和高掺杂的N型半导体接触形成欧姆接触。肖特基二极管的表面采用二氧化硅保护层，覆盖了暴露的外延层，钝化金属表面，消除边缘场。

美国喷气动力实验室和美国弗吉尼亚大学研制的基于空气桥技术的表面通道型肖特基二极管，降低了由二极管结构引起的寄生效应，促进了肖特基二极管在太赫兹固态器件中的广泛应用。肖特基二极管在毫米波和太赫兹频段被广泛用于混频器、倍频器等非线性器件中。